リニアステージ M-111型
最終更新日:2021/01/21
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【M-111型】は、DCモータ、ステッピングモータを使用したリニアステージ。トラベルレンジ:5~25mm、最小移動量:0.2µm、耐荷重:30N、サイズ:60×62×20mm~。XY軸、XYZ軸にセットアップ可能で、真空にも対応(10^-6hPa)。
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