CarlZeiss製 SEM-AFMシステム
最終更新日:2020/07/03
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本製品は、2つのシステムがそれぞれ独立している場合と比較して、多数のメリットがある複合SEM-AFMシステム。表面とナノ構造を測定する新機能を搭載しており、SEMとAFMを組み合わせることで、AFMチップを正確に位置決めできる。AFMは、表面の形状や、電気・機械特性に関する正確な情報を提供。
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製品カタログ・資料
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