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DLTSシステム DLS-1000

日本セミラボ株式会社

最終更新日:2020/07/03

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  • DLTSシステム DLS-1000
汚染の痕跡量レベルの検出における最高の感度
【DLS-1000】は、ウェハープロセス時に生じる金属汚染およびダメージなどによる結晶欠陥を電気的かつ高感度に測定・分析を行うシステム。半導体における深い準位(トラップ)を測定することで、容量の過渡応答を利用して禁制帯中のエネルギーと捕獲断面積が分かる。改良された高感度システムであり、先行モデル「DLS-83D」の8倍の感度を有する。全自動測定モードを搭載しており、測定されたデータの不純物特定や濃度判定などの幅広い解析をユーザーの介入なしに行える。
    　　　　　　　　
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    Deep Level Transient Spectroscopy(DLTS)は、半導体材料や完成デバイスに意図的または意図せずに導入された不純物や欠陥によって生じる深い準位のモニタリングと特性評価に最適な技術。

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DLTSシステム DLS-1000
DLTSシステム DLS-1000

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.49MB【DLS-1000】は、ウェハープロセス時に生じる金属汚染およびダメージなどによる結晶欠陥を電気的かつ高感度に測定・分析を行うシステム。半導体における深い準位(トラップ)を測定することで、容量の過渡応答を利用して禁制帯中のエネルギーと捕獲断面積が分かる。改良された高感度システムであり、先行モデル「DLS-83D」の8倍の感度を有する。全自動測定モードを搭載しており、測定されたデータの不純物特定や濃度判定などの幅広い解析をユーザーの介入なしに行える。

会社情報

日本セミラボ株式会社

半導体測定装置、太陽電池評価装置の販売及び技術サービスを提供しています。

日本セミラボ株式会社
〒 222-0033  横浜市港北区新横浜2-15-10 YS新横浜ビル6F
電話 : 045-620-7960

https://www.semilab-j.jp/
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社名：
日本セミラボ株式会社
住所：
〒 222-0033
横浜市港北区新横浜2-15-10 YS新横浜ビル6F
Web：
https://www.semilab-j.jp/
TEL：
045-620-7960

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