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- 非接触シート抵抗測定装置 LEI-1510シリーズ
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.36MB【LEI-1510シリーズ】は、2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体(GaAs、GaN、InPなど)epiウエハを非接触・破壊にてシート抵抗測定する、旧リハイトン社(Lehighton Electronics, Inc.)の装置。四探針方式で起こり得る接触汚染や具合による再現性問題を解決する。ロボットを取り付けることにより、多数枚を迅速に計測処理することが可能。0.035 ～3200 ohm/sq.という広い範囲で優れた測定直線性を実現。計測データを三次元グラフィックマップとしてPCモニタ上で確認できる。
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