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非接触シート抵抗測定装置 LEI-1510シリーズ

日本セミラボ株式会社

最終更新日:2020/07/03

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  • 非接触シート抵抗測定装置 LEI-1510シリーズ
最大300点まで計測可能
【LEI-1510シリーズ】は、2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体(GaAs、GaN、InPなど)epiウエハを非接触・破壊にてシート抵抗測定する、旧リハイトン社(Lehighton Electronics, Inc.)の装置。四探針方式で起こり得る接触汚染や具合による再現性問題を解決する。ロボットを取り付けることにより、多数枚を迅速に計測処理することが可能。0.035 ～3200 ohm／sq.という広い範囲で優れた測定直線性を実現。計測データを三次元グラフィックマップとしてPCモニタ上で確認できる。
    　　　　　　　　
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非接触シート抵抗測定装置 LEI-1510シリーズ
非接触シート抵抗測定装置 LEI-1510シリーズ

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.36MB【LEI-1510シリーズ】は、2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体(GaAs、GaN、InPなど)epiウエハを非接触・破壊にてシート抵抗測定する、旧リハイトン社(Lehighton Electronics, Inc.)の装置。四探針方式で起こり得る接触汚染や具合による再現性問題を解決する。ロボットを取り付けることにより、多数枚を迅速に計測処理することが可能。0.035 ～3200 ohm/sq.という広い範囲で優れた測定直線性を実現。計測データを三次元グラフィックマップとしてPCモニタ上で確認できる。

会社情報

日本セミラボ株式会社

半導体測定装置、太陽電池評価装置の販売及び技術サービスを提供しています。

日本セミラボ株式会社
〒 222-0033  横浜市港北区新横浜2-15-10 YS新横浜ビル6F
電話 : 045-620-7960

https://www.semilab-j.jp/
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企業基本情報

社名：
日本セミラボ株式会社
住所：
〒 222-0033
横浜市港北区新横浜2-15-10 YS新横浜ビル6F
Web：
https://www.semilab-j.jp/
TEL：
045-620-7960

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