分光エリプソメーター SE-1000
最終更新日:2025/07/07
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- 分光エリプソメーター SE-1000
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:1.76MB【SE-1000】は、モジュール性と高い測定性能を卓上型のコンパクト設計で実現する分光エリプソメーター。回転補償子法により高い測定性能を提供。コスト効率に優れ、研究開発ラボに適した手動のゴニオメーターと手動のサンプル位置決め機能を搭載。非接触・非破壊の光学的測定を基板や単層/多層サンプルで行い、個々の薄膜の膜厚や光学特性(屈折率、消衰係数)を取得。コンポーネントを交換可能なセミラボの新型高性能電子機器が搭載し、新世代の動作・分析ソフトウェア(SAM/SEA)で動作する。
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