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スピンエッチャ MSE3000

三益半導体工業(株)

最終更新日:2015/03/24

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8インチサイズで薬液最大3液まで温調回収循環が可能

【MSE3000】は、片面のシリコンエッチング、膜除去、洗浄ができるスピンプロセッサ。ウェーハ厚み、酸化膜／窒化膜等の膜厚をモニタしてのエンド検出機能を装備（加工データ管理機能付き）し、8インチサイズで薬液最大3液まで温調回収循環が可能。回転保持機構部にフィンタイプチャックを採用、薄い反りのあるウェーハに対し安定した保持能力が特長、裏面への処理液の回り込みが極めて少なく、裏面へのリンスも可能。

産業用機械│半導体製造装置│

　　　　　　　　

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住所：: 〒 370-3521
高崎市棟高町1909-1

Web：: http://www.mimasu.co.jp/