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- (10)コンパクト基板搬送システム SMART CLUSTER
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.41MB【SMART CLUSTER】は、3〜12インチまでの基板に対応し、基板以外のタイプでも対応可能なコンパクト基板搬送システム。R＆Dプロセス装置用に最適な低コスト搬送機で、ユミット方式の構成により短納期で対応可能。必要な機能に限定し、セットアップや操作が容易に行え、φ300mm基板搬送機として最小のフットプリントを実現。オールインワンタイプとシンプルタイプの2種類を用意。
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