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ガラス基板ローダ／アンローダ GLD-0750FL／0750WI

(株)サンセー・インターナショナル・テクノロジー

最終更新日:2015/05/19

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  • ガラス基板ローダ／アンローダ GLD-0750FL／0750WI
アレイ工程でノーマルカセットを採用
【GLD-0750FL／0750WI】は、1950×2250mmの第7.5世代の大型ガラス基板に対応したガラス基板ローダ／アンローダ。アレイ工程でノーマルカセットを採用した大型の装置で、ロボットを利用する0750FLとセル工程など向けのロボットレスでワイヤカセットを利用する0750WIの2種。カセットステーションの連結により複数ポートに対応可能。
    　　　　　　　　

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社名：
(株)サンセー・インターナショナル・テクノロジー
住所：
〒 399-8204
安曇野市豊科高家1178-15
Web：
http://www.siti.jp/