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ウエハ常温接合装置・実験機常温接合装置用実験機

(株)ムサシノエンジニアリング

最終更新日:2014/01/31

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FAB/イオンガンを1つのチャンバーに搭載可能

【常温接合装置用実験機】は、表面活性化接合を用いた異種材料の直接接合を行う実験および生産用のウェハ開発機。ロードロック室によりスループットの向上が可能。接合室を大気開放しても12hで10⁻⁶Pa台に復帰ができる高いメンテナンス性を達成。FAB／イオンガンを1つのチャンバーに搭載可能。試料ホルダは4インチ静電チャック方式。

産業用機械│半導体製造装置│

　　　　　　　　

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