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社名：
ヒューグルエレクトロニクス(株)
住所：
〒 102-0072
千代田区飯田橋4-5-7
Web：
http://www.hugle.co.jp

ウェハ貼合せ・温度検出ウェハ MODEL BTCW-800

ヒューグルエレクトロニクス(株)

最終更新日:2014/01/31

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  • ウェハ貼合せ・温度検出ウェハ MODEL BTCW-800
測定温度範囲：-40℃〜800℃
ウェハ貼り合わせ温検ウェハは、熱電対を2枚のウェハで挟み込んだサンドイッチ構造のウェハ。ウェハ貼り合わせ装置のモニタリングに使用され、ウェハ貼り合わせ時に必要不可欠な、温度の均一な管理を実現する。特に、MENS、MOEMS、SOI、ウェハレベルパッケージング、3Dチップスタッキング分野に最適。
    　　　　　　　　

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