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多元スパッタ装置

株式会社テクノファイン

最終更新日:2017/04/04

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  • 多元スパッタ装置
研究開発向けスパッタ装置
本製品は、3種類のターゲットが同時にセットでき、大気開放することなく、3種類の成膜が可能な多元スパッタ装置。基板ステージごとに個別の温度設定ができるため、成膜条件が異なる場合でも迅速な処理が可能。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
株式会社テクノファイン
住所：
〒 982-0243
仙台市太白区秋保町長袋字門前21
Web：
http://www.technofine.jp/
TEL：
0223992360