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卓上型UV照射装置

(株)メープル

最終更新日:2014/01/31

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  • 卓上型UV照射装置
表面の有機物を除去し濡れ性を向上
【卓上型UV照射装置】は、最大φ300のシリコンウエハやガラス基板、または高さ50mmまでの試料に紫外線を照射できる装置。表面の有機物を除去し濡れ性の向上または表面改質が可能。オゾン除去用フィルタや排気ファンを搭載しているので、地球に優しいオゾン処理も可能。UV硬化装置も用意し、特注装置の設計よおよび製作が可能。

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