非接触搬送装置 フロートチャックC(SAN)型

【フロートチャックC(SAN)型】は、ストレスをなくし空気消費量を大幅減少した、非接触搬送装置。同社では、気体を噴出することによりウエハを非接触状態にて把持するベルヌーイチャックの一種である、同型の非接触搬送装置「フロートチャック」シリーズを製作していたが、本製品ではさらに慣性力の効果が付加され、従来技術に比し格段に懸垂能力・保持安定元力が増加。衝撃にも強く、気体消費量はほぼ半減。空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特に大型ガラス基板の非接触搬送に最適。また、ストレスを与えることがなくなり、排出気体が減少するためクリーンルームでの使用も可能で、半導体ウエハ搬送にも多く採用されている。