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スピンエッチャ MSE-2000EL

三益半導体工業(株)

最終更新日:2014/01/30

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  • スピンエッチャ MSE-2000EL
厚さ制御を標準装備
【MSE-2000EL】は、裏面シリコンエッチングに不可欠な厚さ制御を独自の方法により標準装備したスピンエッチャ。保護テープ付き、サポート付き、高濃度ウェハ等の特殊ウェハにも対応。従来のMESシリーズの特長をそのままに、裏面エッチング工程の信頼性・安定性を向上した。社内評価結果ではウェハ間バラツキを目標厚さの±1.0μmに成功した。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
三益半導体工業(株)
住所：
〒 370-3521
高崎市棟高町1909-1
Web：
http://www.mimasu.co.jp/