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- ウェーハカセットチェンジャーPCT2022
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：1.24MB 本装置は、所定のカセットに収納された200㎜・300㎜用ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるシステムです。 使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセットです。各カセットは作業者がステージに供給します。
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