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EFEM・ソータ

PHT株式会社

最終更新日:2024/02/20

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  • EFEM・ソータ
クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置
本製品は、高性能ACサーボモータを搭載し、大きな可搬質量で高速搬送を実現するEFEM・ソータ。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能。さまざまなバリエーション、カスタムに対応。
    　　　　　　　　
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EFEM・ソータ
EFEM・ソータ

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：1.4MB高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動している20年以上以上のロボット技術を継承します。

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企業基本情報

社名：
PHT株式会社
住所：
〒 115-0045
東京都北区赤羽1-41-12
Web：
https://www.pht.co.jp/
TEL：
03-6751-7153