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製品カタログ・資料
- EFEM・ソータ
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:1.4MB高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動している20年以上以上のロボット技術を継承します。
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