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キャリア基板受入れ洗浄装置 PWG-2501

PHT株式会社

最終更新日:2025/09/18

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  • キャリア基板受入れ洗浄装置 PWG-2501
ガラス基板受入洗浄に使用
【PWG-2501】は、ガラス基板受入洗浄に使用するキャリア基板受入れ洗浄装置。薬液は使用せず純水(DIW)のみを使用する。プロセスは、次に記載される順番となる。(1)投入コンベア → (2)アイドル → (3)2流体シャワー洗浄 →(4)ブラシ洗浄 →(5)純水シャワー洗浄 →(6)純水による最終リンス洗浄 →(7)吸水ローラによる水切 → (8)エアーナイフによるスリットノズル乾燥 (9)イオナイザーブロー乾燥LD＆ULDき(ロードポート付帯)。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
PHT株式会社
住所：
〒 115-0045
東京都北区赤羽1-41-12
Web：
https://www.pht.co.jp/
TEL：
03-6751-7153