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ウェーハ3軸円筒座標型クリーンロボット

PHT株式会社

最終更新日:2025/09/18

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  • ウェーハ3軸円筒座標型クリーンロボット
ガラス基板対応
本製品は、クリーンルームで使用するインターポーザ用水平多関節型のガラス基板搬送ロボット。前後(X軸)・旋回(θ軸)・上下(Z軸)の動作が可能でウェーハの大気中搬送に対応。駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
PHT株式会社
住所：
〒 115-0045
東京都北区赤羽1-41-12
Web：
https://www.pht.co.jp/
TEL：
03-6751-7153