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紫外線照射システム UH102／UH102-12

(株)ウルトロニクス

最終更新日:2016/10/20

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  • 紫外線照射システム UH102／UH102-12
特殊平面状ランプを採用
【UH102／UH102-12】は、最大8インチのウエハとフィルムフレームと、最大12インチのウエハに対応する、小型、低価格な紫外線照射システム。UV接着フィルムをしっかり照射する窒素パージ構造で、特殊平面状ランプを採用しているのでムラなく均等にUV照射ができる。使いやすいベンチトップ型で、複雑で面倒な操作が不要。
    　　　　　　　　

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社名：
(株)ウルトロニクス
住所：
〒 248-0012
鎌倉市御成町11-2
Web：