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立体面レジスト塗布装置 3DCシリーズ

(株)ナノテック

最終更新日:2015/04/30

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  • 立体面レジスト塗布装置 3DCシリーズ
マイクロマシン基板に対応
【3DCシリーズ】は、凹凸傾斜面に膜厚均一塗布可能なマイクロマシンおよび各種半導体研究用スプレーコータ（立体面レジスト塗布装置）。自動回転式試料台で複数面のコーティングが可能。スピンナークラスの薄膜から重ね塗りによる超厚膜まで対応。スプレーノズルの角度や高さを調整でき、最小限の薬液でコーティング可能。
    　　　　　　　　

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