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多面同時露光装置 3DAシリーズ

(株)ナノテック

最終更新日:2015/04/30

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  • 多面同時露光装置 3DAシリーズ
最大試料サイズφ100mmに対応
【3DAシリーズ】は、マスクパターンの多面同時露光を実現した露光装置。試料の左右側面、上面および多面の同時露光が可能なフォトリソグラフィ3次元素子製造装置で、4面から6面までの加工が行える。対応最大試料サイズφ100mm、光源装置Hgランプ500W×N台で、電源AC100V 50A。本体寸法は約1,230×800×1,600mm。
    　　　　　　　　

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