製品ナビは、工業製品からエレクトロニクス、IT製品まで、探している製品が見つかります
すべてのカテゴリー
  1. トップ
  2. 企業情報
  3. (株)ナノテック
  4. 製品
  5. 試料裏面アライメント露光装置 BA100

試料裏面アライメント露光装置 BA100

(株)ナノテック

最終更新日:2015/04/30

このページを印刷
  • 試料裏面アライメント露光装置 BA100
半導体素子などの両面デバイス開発を支援
【BA100】は、プロセスの異なる試料表裏の一致した位置にパターン露光を実現した試料裏面アライメント露光装置。通常の片面露光マスクアライナとしても使用でき、MEMSや半導体素子の両面デバイスの開発を支援。適応試料サイズは、最大φ4インチ、厚さ最大800μmで、対物レンズ間隔が最小16mmのため小型試料にも対応可能。
    　　　　　　　　

一緒に閲覧されている製品

試料裏面アライメント露光装置 BA100のお問い合わせ

お問い合わせはこちら

その他製品一覧

新着製品情報

卓上型サーマル式 プラズマ支援 原子層堆積(ALD)装置
卓上型サーマル式 プラズマ支援 原子層堆積(ALD)装置株式会社エイチ・ティー・エル
ウェーハ搬送装置 PWT2022
ウェーハ搬送装置 PWT2022PHT株式会社
高耐熱粘着シート MagiCarrier-β
高耐熱粘着シート MagiCarrier-β株式会社京写
UV LED露光用光源
UV LED露光用光源カンタム・ウシカタ(株)
高速ハンドラー装置 BITA-1／2
高速ハンドラー装置 BITA-1／2ＫＮＥ株式会社
FPDモジュール自動点灯検査装置
FPDモジュール自動点灯検査装置ニデックインスツルメンツ(株)

ランキング

熱ラミネート(ヒートロール)を含んだ貼り合わせ装置の設計製作
熱ラミネート(ヒートロール)を含んだ貼り合わせ装置…長野オートメーション(株)