製品ナビは、工業製品からエレクトロニクス、IT製品まで、探している製品が見つかります

試料裏面アライメント露光装置 BA100

(株)ナノテック

最終更新日:2015/04/30

このページを印刷
  • 試料裏面アライメント露光装置 BA100
半導体素子などの両面デバイス開発を支援
【BA100】は、プロセスの異なる試料表裏の一致した位置にパターン露光を実現した試料裏面アライメント露光装置。通常の片面露光マスクアライナとしても使用でき、MEMSや半導体素子の両面デバイスの開発を支援。適応試料サイズは、最大φ4インチ、厚さ最大800μmで、対物レンズ間隔が最小16mmのため小型試料にも対応可能。

試料裏面アライメント露光装置 BA100のお問い合わせ

お問い合わせはこちら

最新PDFもっとみる

ストレージ・ビジョン総合カタログ(202604)(株)ストレージ・ビジョン
KNKT株式会社(会社概要)KNKT株式会社
GDS(Ground fault Detection System)株式会社GMS JAPAN
RIDGID 工具カタログ 2026日本エマソン株式会社プロフェッショナルツール…
卓上型 自動コインセル組立機 MSK-110-ATAAポータブルパワー(株)