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試料裏面アライメント露光装置 BA100

(株)ナノテック

最終更新日:2015/04/30

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  • 試料裏面アライメント露光装置 BA100
半導体素子などの両面デバイス開発を支援
【BA100】は、プロセスの異なる試料表裏の一致した位置にパターン露光を実現した試料裏面アライメント露光装置。通常の片面露光マスクアライナとしても使用でき、MEMSや半導体素子の両面デバイスの開発を支援。適応試料サイズは、最大φ4インチ、厚さ最大800μmで、対物レンズ間隔が最小16mmのため小型試料にも対応可能。
    　　　　　　　　

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