エポキシダイボンダ BESTEM-D02
最終更新日:2014/01/31
このページを印刷φ12インチウエハに対応
【BESTEM-D02】は、φ12インチウエハ対応のエポキシダイボンダ。高剛性ヘッドと高速多値化認識システムにより、ボンディングスピードを30%アップ。0.29秒/サイクル(3mm角チップ)でUPH10000とし、ボンディング精度はXY方向±25μm、θ方向±0.5°。品種切替時間は新品種で30分以内、登録済品種で10分以内。
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