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エポキシダイボンダ BESTEM-D02

NECマシナリー(株)

最終更新日:2014/01/31

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  • エポキシダイボンダ BESTEM-D02
φ12インチウエハに対応
【BESTEM-D02】は、φ12インチウエハ対応のエポキシダイボンダ。高剛性ヘッドと高速多値化認識システムにより、ボンディングスピードを30%アップ。0.29秒/サイクル(3mm角チップ)でUPH10000とし、ボンディング精度はXY方向±25μm、θ方向±0.5°。品種切替時間は新品種で30分以内、登録済品種で10分以内。

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企業基本情報

社名:
NECマシナリー(株)
住所:
〒 525-8511
草津市南山田町85
Web:
http://www.nml.co.jp/