Low-kウェハ用ハブ・ブレード Novaハブ・ブレード
最終更新日:2015/05/21
このページを印刷チッピングや剥がれを削減
【Novaハブ・ブレード】は、Low-kウェハのダイシングで共通課題であるチッピングや剥がれを削減した製品。特殊なダイアモンドとニッケル結合を処方し、ダイシング中に発生するチッピングや剥がれを最小限に抑え、いろいろなLow-kウェハの特殊ニーズに適応している。標準のカットスピードでウェハを処理しても、高い歩留まりを達成することが可能である。
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