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マスクレス露光装置 DL-1000

(株)ナノシステムソリューションズ

最終更新日:2014/02/01

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  • マスクレス露光装置 DL-1000
薄い透明基板から厚膜レジストまで対応可能
【DL-1000】は、DMD（Digital Micromirror Device）を用いた露光パターンの縮小投影技術で最小画素 1μmを実現したマスクレス露光装置。200mm2／min以上の高速描画を行うスキャニング方式を採用。また、独自のオートフォーカス技術により、薄い透明基板にも対応可能。CADフォーマットはDXF、GDS IIに対応、さらに滑らかな曲線を描く高精細露光モードも搭載。
    　　　　　　　　

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