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スパッタリング装置 SOLARIS

伯東(株)

最終更新日:2014/01/31

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  • スパッタリング装置 SOLARIS
ハイスループットと省スペースを実現
【SOLARIS】は、PE-CVDプロセスに比べ約30％のコスト削減が可能なアドバンスドナノテク向けスパッタリング装置。薄膜ウエハハンドリング、300mmウエハ用カソード技術、ハイスループットデザインを兼備、ハイスループットと省スペースを実現。タッチパネル、薄膜バッテリ、有機発光ダイオード、MEMSなど、多彩な分野に対応。
    　　　　　　　　

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