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コンパクト基板搬送システム SMART CLUSTER MSC

(株)ムサシノエンジニアリング

最終更新日:2015/06/02

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  • コンパクト基板搬送システム SMART CLUSTER MSC
3インチから12インチまでの基板に対応
【SMART CLUSTER MSC】は、3インチから12インチまでの基板に対応するコンパクト基板搬送システム。R&Dプロセス装置用に最適な低コスト搬送機で、ユニット方式の構成により短納期対応が可能。必要十分な機能限定で簡単セットアップ、簡単操作を実現。オールインワンタイプとシンプルタイプの2種類を用意している。

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社名:
(株)ムサシノエンジニアリング
住所:
〒 339-0068
さいたま市岩槻区並木2-10-10
Web:
http://www.musashino-eng.co.jp