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Web:
http://apco.in.coocan.jp/

高性能ウエハ・マスク破断装置 AMC7800

(株)アプコ

最終更新日:2015/06/02

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  • 高性能ウエハ・マスク破断装置 AMC7800
断面SEM観察試料を無研磨で作成可能
【AMC7800】は、超硬ダングステン製ローラカッタを使用したスキップけがき方式を採用した高性能ウエハ・マスク破断装置。各種半導体ウエハ・マスクの断面SEM観察用サンプルを無研磨で作成可能、さらに加工時間の大幅短縮や作業性の大幅向上を実現。加工可能な試料サイズは最大φ8インチで、9mm厚マスク試料の加工にも対応。

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