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高温ウエハ用非接触ピンセット

(有)ソーラーリサーチ研究所

最終更新日:2014/02/01

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  • 高温ウエハ用非接触ピンセット
ウエハプロセス／CVD装置／高温サセプターのウエハを非接触にて搬送
本製品は、非接触によりワークを吸着・脱着し搬送できる高温ウエハ用非接触ピンセット。気体を噴出することにより非接触にてウエハを懸垂保持し搬送する「フロートチャック」に手動バルブの付いた取っ手を装着、ピンセットのようにハンドルを持つ手によるバルブ操作により気体供給のON-OFFを行い、高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出すことができる。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
(有)ソーラーリサーチ研究所
住所：
〒 561-0874
豊中市長興寺南1-3-1　田中開発ビル2Ｆ
Web：
http://www.solarlab.co.jp/