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微細転写装置 ST50

東芝機械(株)

最終更新日:2017/02/02

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  • 微細転写装置 ST50
LED量産対応機
【ST50】は、高輝度LEDの製造に特化した微細転写装置（LED量産対応機）。数百nmの周期性を有するフォトニック結晶構造の採用により、LEDの輝度を大幅に向上することが可能で、毎時20枚以上の高スループットを実現。また、独自のプロセスによるUV一括パターン転写が行えるほか、大口径化するエピウエハに対応（6インチ）。
    　　　　　　　　

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