リソグラフィ装置
最終更新日:2017/01/11
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ウェハ一括プロジェクション方式により、CoOを削減
本製品は、パワーデバイス、MEMS、3次元実装向けのリソグラフィ装置。同社のモジュラー型一括プロジェクション装置の最新機種である。MPAマスクがそのまま使用できるパワーデバイス製造用「UX4-ECO FFPL150」、重ね合わせ精度0.5μmの性能を持ち、新開発の焦点深度最大500μmのレンズ・モジュールや、多品種生産対応のオート・マスクチェンジャー・モジュールを搭載したMEMS製造用「UX4-MEMS FFPL200」、および300mm一括プロジェクションレンズを搭載した3次元実装用「UX4-3Di FFPL300」の3機種を用意。
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