高クリーン、高スループットで自社製コンポーネントの採用
本システムは、クリーン度実績のある自社製コンポーネントを使用し、FFUの最適な気流制御により高クリーン性能を実現したウェーハ搬送システム。ロボット、FOUPオープナ、アライナはすべて自社製品を搭載、各装置の要求に応じて、フレキシブルなレイアウトが可能であり、搬送システムをトータルサポート。また、業界トップクラスの高スループットを誇る搬送ロボットと独自の制御方式を採用する ことで、640枚／h搬送を実現し、1515st以上のロングストロークにも対応可能。
