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ウェーハ搬送システム EFEM(Equipment Front End Module)

平田機工株式会社

最終更新日:2014/02/01

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  • ウェーハ搬送システム EFEM(Equipment Front End Module)
高クリーン、高スループットで自社製コンポーネントの採用
本システムは、クリーン度実績のある自社製コンポーネントを使用し、FFUの最適な気流制御により高クリーン性能を実現したウェーハ搬送システム。ロボット、FOUPオープナ、アライナはすべて自社製品を搭載、各装置の要求に応じて、フレキシブルなレイアウトが可能であり、搬送システムをトータルサポート。また、業界トップクラスの高スループットを誇る搬送ロボットと独自の制御方式を採用する ことで、640枚／h搬送を実現し、1515st以上のロングストロークにも対応可能。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
平田機工株式会社
住所：
〒 861-0198
熊本市植木町一木111　熊本本部　熊本工場　熊本本部ビル6階
Web：
http://www.hirata.co.jp/