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大気対応ウェーハ搬送ロボット AR-Wn180CL

平田機工株式会社

最終更新日:2015/08/17

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  • 大気対応ウェーハ搬送ロボット AR-Wn180CL
高クリーン、高スループット、省スペース
【AR-Wn180CL】は、徹底した軽量化、省スペース化を追求しながら、業界トップクラスの500枚/hの搬送(処理速度8倍アップ:同社従来機比)を実現したウェーハ搬送ロボット。ABSエンコーダ採用により、バッテリー交換が不要で、磁性流体シールなどにより、パーティクルの発生を抑制するといった高クリーン性能を保持。

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企業基本情報

社名:
平田機工株式会社
住所:
〒 861-0198
熊本市植木町一木111 熊本本部 熊本工場 熊本本部ビル6階
Web:
http://www.hirata.co.jp/