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犠牲層ドライエッチング装置 CT-08

豊田通商(株)

最終更新日:2015/06/09

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  • 犠牲層ドライエッチング装置 CT-08
大口径8インチウエハに対応
【CT-08】は、シリコン酸化膜/多結晶シリコンの犠牲層エッチングに最適なマイクロマシン用エッチング装置。大口径8インチウエハに対応、エッチングからコーティングまで全自動枚葉ドライ処理が可能。微小構造体の形成に有利な撥水性コーティング処理機能を装備。搬送方式:3軸ロボット搬送、エッチング温度:30〜100℃。

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企業基本情報

社名:
豊田通商(株)
住所:
〒 450-8575
名古屋市中村区名駅4-9-8 センチュリー豊田ビル
Web:
http://www.toyotsu-ele.com/