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Web：
http://atechsystem.co.kr/

広域成膜用インラインスパッタ Inline SPT‐370

A-Tech System

最終更新日:2014/02/01

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  • 広域成膜用インラインスパッタ Inline SPT‐370
研究用途のディスプレイ薄膜電極用に
【Inline SPT‐370】は、研究開発および小規模生産用にインラインスパッタとして8個のリニアガンを装着するように設計されている。24インチ基板を1つのキャリアの装着して移送することができる。装置はPC制御で、基板洗浄のためにイオンガンも装着できる。ディスプレーITO透明導電膜以外に光学コーティング、無機薄膜コーティング、金属薄膜コーティング、高分子表面改質などにも応用可能。
    　　　　　　　　
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広域成膜用インラインスパッタ Inline SPT‐370
広域成膜用インラインスパッタ Inline SPT‐370

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.3MB【Inline SPT‐370】は、研究開発および小規模生産用にインラインスパッタとして8個のリニアガンを装着するように設計されている。24インチ基板を1つのキャリアの装着して移送することができる。装置はPC制御で、基板洗浄のためにイオンガンも装着できる。ディスプレーITO透明導電膜以外に光学コーティング、無機薄膜コーティング、金属薄膜コーティング、高分子表面改質などにも応用可能。

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