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- 広域成膜用インラインスパッタ Inline SPT‐370
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.3MB【Inline SPT‐370】は、研究開発および小規模生産用にインラインスパッタとして8個のリニアガンを装着するように設計されている。24インチ基板を1つのキャリアの装着して移送することができる。装置はPC制御で、基板洗浄のためにイオンガンも装着できる。ディスプレーITO透明導電膜以外に光学コーティング、無機薄膜コーティング、金属薄膜コーティング、高分子表面改質などにも応用可能。
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