ベルヌーイ・ピンセット BRP-01/02
最終更新日:2014/02/01
このページを印刷薄物ウェーハ(2、3インチ、100〜150mm)に対応
【BRP-01/02】は、チャックの厚みを薄くすることができるベルヌーイ方式を採用し、薄物ウェーハなどをベルヌーイ保持できる軽量・コンパクトなピンセット。ワークとの接触はパッド(材質:フッ素ゴム)により行うため保持時のワークへの衝撃を緩和するとともに、保持ガイドが不要で、サイクロン効果によりワークを吸着せずに保持可能。また、フレキシブルチューブを使用することで作業者の任意の角度に調整できるほか、吸着保持ではないため、ウェーハの破損リスクを最小限に抑えられる。先端部がフレキシブルに動くため、平置きはもちろん、ウェーハケースやウェーハカセットからの取出・収納が可能で、ウェーハに加え様々な特殊ワークにも対応する。
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