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社名：
株式会社ジェーイーエル
住所：
〒 720-0831
福山市草戸町２-８−２０
Web：
http://www.jel-robot.co.jp/

ベルヌーイチャック(接触タイプ)

株式会社ジェーイーエル

最終更新日:2014/02/01

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  • ベルヌーイチャック(接触タイプ)
薄物ウェーハに威力を発揮
本製品は、ワークに対してベルヌーイの力でワークを吸引する接触タイプのベルヌーイチャック。搬送時のズレを防止するため、フリクションゴムの摩擦力で保持し、真空吸着チャックよりも広いエリアに力がかかり、薄物ウェーハに有効。また、チャック側の面は接触するが、ウェーハサイズが異なる場合に兼用(組合せによる)可能。
    　　　　　　　　

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