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ベルヌーイチャック(非接触タイプ)

株式会社ジェーイーエル

最終更新日:2014/02/01

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  • ベルヌーイチャック(非接触タイプ)
エッジ部のガイドで搬送時のズレを防止
本製品は、反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに最適な非接触タイプのベルヌーイチャック。ワークに対してベルヌーイの力でワークを引きつけ、搬送時のズレはエッジ部のガイドにより防止する仕組みで、エッジ以外は接触せずに浮上した状態となる。1つのチャックで1サイズのウェーハのみ対応。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
株式会社ジェーイーエル
住所：
〒 720-0831
福山市草戸町２-８−２０
Web：
http://www.jel-robot.co.jp/