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プラズマソース Thin Film Solutions社製

伯東(株)

最終更新日:2014/01/30

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  • プラズマソース Thin Film Solutions社製
高密度プラズマにより光学薄膜特性が向上
【Thin Film Solutions 社製プラズマ・デポジション・ソース】は、高密度プラズマにより光学薄膜特性を向上した製品。グリッドレス構造と2重プラズマ生成によりパーティクルを軽減。低電圧、大電流プラズマ・イオンの生成が可能で、グリッドからのコンタミネーションも皆無。プラズマ照射角度は可変。常温成膜プロセスが可能。

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