プラズマソース Thin Film Solutions社製

最終更新日:2014/01/30

高密度プラズマにより光学薄膜特性が向上

【Thin Film Solutions 社製プラズマ・デポジション・ソース】は、高密度プラズマにより光学薄膜特性を向上した製品。グリッドレス構造と2重プラズマ生成によりパーティクルを軽減。低電圧、大電流プラズマ・イオンの生成が可能で、グリッドからのコンタミネーションも皆無。プラズマ照射角度は可変。常温成膜プロセスが可能。