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エンドホール型イオンソース EH1000

伯東(株)

最終更新日:2014/01/30

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  • エンドホール型イオンソース EH1000
光学薄膜特性を向上し、メンテナンスも容易
【EH1000】は、Kaufman＆Robinson社製のエンドホール型イオンソース。大電流イオンビームアシストにより光学薄膜特性を向上。メンテナンスが容易で、新型ホロカソードエレクトロンソース（HCES）使用により酸素ビームアシストが長時間可能。IADプロセス、プレクリーニング、リアクティブエッチング等の用途に対応できる。
    　　　　　　　　

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〒 160-8910
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