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シリコン酸化膜犠牲層エッチング装置 SLE-Ox

SPPテクノロジーズ(株)

最終更新日:2015/12/17

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  • シリコン酸化膜犠牲層エッチング装置 SLE-Ox
アルミを腐食せず、微細加工が可能
【SLE-Ox】は、MEMS用途で、無水HFとアルコールによるシリコン酸化膜犠牲層エッチング装置。アルミ電極を含む構造でもアルミを腐食することなくエッチングできる。微細加工が可能で、ミリメートル単位のロングアンダーカットも実現。ドライプロセスのため廃液処理は不要で、低メンテナンス頻度で高安定性を保つ。加速度センサ、ジャイロセンサ、圧力センサ、シリコンマイク、シリコン共振器、光スイッチなどに適用。
    　　　　　　　　

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