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シリコン深堀り装置 Proxion

SPPテクノロジーズ(株)

最終更新日:2020/12/14

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  • シリコン深堀り装置 Proxion
高均一性・高エッチング速度・チルトレスを同時に実現
【Proxion】は、大開口パターンにおいて、高均一性・高エッチング速度・チルトレスを同時に実現するシリコン深堀り装置。エッチング速度は、従来機「Pegasus」の約2倍を達成。新構造プラズマソース・新型ウェハ試料台搭載によるプロセスウィンドウを拡大。また、地球温暖化係数の低いプロセスガスを採用している。
    　　　　　　　　
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シリコン深堀り装置／熱処理装置／プラズマダイシング装置／圧電薄膜成膜装置
シリコン深堀り装置／熱処理装置／プラズマダイシング装置／圧電薄膜成膜装置

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