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プラズマダイシング装置 Mosaic

SPPテクノロジーズ(株)

最終更新日:2020/12/14

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  • プラズマダイシング装置 Mosaic
フレーム付きウェーハでのDAGに対応
【Mosaic】は、フレーム付き150mm、200mm、300mmウェーハでのDAG(薄化後ダイシング)に対応したエッチングシステム。Rapier-Sプロセスモジュールにより、高スループットを実現。チップ欠けやクラックを発生させず、歩留まり向上が可能。ダイシング幅を狭化でき、チップ取れ数の増加が可能。
    　　　　　　　　
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