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圧電薄膜成膜装置 Sigma

SPPテクノロジーズ(株)

最終更新日:2020/12/14

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面内膜質の均一化、膜質ばらつきの低減が可能

【Sigma】は、圧電薄膜であるSc(スカンジウム)ドーピングのAIN(窒化アルミニウム)膜の成膜が可能な圧電薄膜成膜装置。面内膜質の均一化、膜質ばらつきの低減が可能。高精度な応力制御が行える。高速成膜、高スループットを実現。

産業用機械│半導体製造装置│

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Web：: http://www.spp-technologies.co.jp/