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ヒューグルエレクトロニクス(株)
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〒 102-0072
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ウエハ劈開装置 GST100/150シリーズ

ヒューグルエレクトロニクス(株)

最終更新日:2015/08/25

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  • ウエハ劈開装置 GST100/150シリーズ
優れた精度・操作性・生産性
【GST100/150シリーズ】は、スクライバとブレーカが一体となった省スペース構造の装置。シリコン、ガラス、サファイア、セラミックに対応。高品質ダイヤモンドツールを使用し、3〜5ミクロンのスクライブ線をウエハおよびレーザバー表面に罫書くことが可能。スクライブ後にブレーキングバーが上昇し劈開・切断を実行。

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