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ウエハ劈開装置 GST100／150シリーズ

ヒューグルエレクトロニクス(株)

最終更新日:2015/08/25

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  • ウエハ劈開装置 GST100／150シリーズ
優れた精度・操作性・生産性
【GST100／150シリーズ】は、スクライバとブレーカが一体となった省スペース構造の装置。シリコン、ガラス、サファイア、セラミックに対応。高品質ダイヤモンドツールを使用し、3〜5ミクロンのスクライブ線をウエハおよびレーザバー表面に罫書くことが可能。スクライブ後にブレーキングバーが上昇し劈開・切断を実行。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
ヒューグルエレクトロニクス(株)
住所：
〒 102-0072
千代田区飯田橋4-5-7
Web：
http://www.hugle.co.jp