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最終更新日:2015/08/25

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  • ウェハ劈開装置 GST150
1台でさまざまなサイズのIC・LEDなどのウェハに対応
【GST150】は、最大6インチの高密度ウェハに対応したウェハ劈開装置で、化合物ウェハにおける劈開・切断時の歩留りを飛躍的に向上させる。ほぼ無限のウェハ情報がメモリ可能、登録後は瞬時に呼出せ、効率UPがもたらす生産時間の大幅な短縮および、有害ダストや汚染排水の無発生を実現。チップ内部にダメージを与えない特殊構造と、スクライバーとブレーカが一体となった省スペース構造を採用、ガラススケールによる高精度制御を実現。

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企業基本情報

社名:
ヒューグルエレクトロニクス(株)
住所:
〒 102-0072
千代田区飯田橋4-5-7
Web:
http://www.hugle.co.jp