小型プラズマクリーナー KNPC-1

製品カタログ・資料

小型プラズマクリーナー『KNPC-1』

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：1.5MB小型プラズマクリーナーKNPC-1 ★ 12インチリング付きウェハ処理が可能! ★ 表面改質、無機物/有機物汚染除去! ★ 量産前の評価、研究に最適! ★ 高速、低価格 ★ 様々なオプション機能 ★ 300mmウェハ、矩形基板への対応可 　適用基板～オプション選択含む 　300mmフレーム付きウェハ 　300mmウェハ 　リードフレーム 　ガラエポ基板 　※テープ基板など各種基板への対応も可能です ・プラズマクリーナーの具体的用途(例:BGA基板) 　ワイヤー接合強度向上 　モールド密着性向上(対IC保護膜) 　モールド密着性向上(対基板レジスト) 　IC モールド樹脂 ワイヤー [ 主要性能] ・到達圧力:6.0Pa以下(ガスバラスト閉時) 　※最大排気速度500L/min ドライポンプを使用 ・リークレート:1.07 Pa/min以下 　※ビルドアップ基準値:0.1Pa・L / sec をチャンバー容積に換算 ・RFパワー制御:13.56MHz/100～1,000W ※設定値±5%又は±5wのいづれか大きい値 ・プロセスガス流量制御:設定値に対して±10%以内 ・エッチング性能 独自技術により業界プラズマクリーナーに比べて短時間で処理可能! 無機物エッチングレート:平均20nm/min以上±20% 有機物エッチングレート:平均500nm/min以上±20% テストチップをφ300電極上5ポイントに配置 ※φ280円周上4点及び中央1点に配置 ※矩形電極[オプション]時は□300コーナー4点及び中央1点に配置 ・プロセス時間 量産機並みのプロセス時間で処理可能! 1プロセス30 s 以下 ※排気スタート～ガス導入～放電～ベント完了まで 処理時間8 s 設定時