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製品カタログ・資料
- 枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：1.09MB 本装置は、φ300mm(12″)石英ガラスウェーハを、ステージ①～ステージ②のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。 使用するカセットは、FOUP・FOSBキャリアです。 基本的にキャリアは、作業者がステージにセットします。 空気洗浄度:ISO Class3(ISO-14644)
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