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枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置

PHT株式会社

最終更新日:2023/08/03

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  • 枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置
クリーンルーム対応
本製品は、φ300mm(12インチ)石英ガラスウェーハを、2つのステージ(ローダー/アンローダー)のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステム。使用するカセットは、FOUP・FOSBキャリアで、作業者がステージにセットする。空気洗浄度:ISO Class3(ISO-14644)に準拠。

製品カタログ・資料

枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置
枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:1.09MB  本装置は、φ300mm(12″)石英ガラスウェーハを、ステージ①~ステージ②のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。   使用するカセットは、FOUP・FOSBキャリアです。   基本的にキャリアは、作業者がステージにセットします。   空気洗浄度:ISO Class3(ISO-14644)

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企業基本情報

社名:
PHT株式会社
住所:
〒 115-0045
東京都北区赤羽1-41-12
Web:
https://www.pht.co.jp/
TEL:
03-6751-7153