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- ウェーハ搬送ロボットPHT-R-4
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.69MBクリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。～300mm対応の半導体製造装置内や検査装置等のウェーハ搬送に適しています。 EFEMなどカセットが水平に配置されたレイアウトに対して、水平移動できる軸があり各ウェーハに対して走行軸なしで搬送が可能です。300mmウェーハのEFEMの場合、2Port対応です。 アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。
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