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枚葉式自動洗浄装置

PHT株式会社

最終更新日:2024/09/13

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  • 枚葉式自動洗浄装置
Si、SiC、GaNなど半導体材料の最終洗浄で使用
本製品は、φ150mm(6インチ)・φ200mm(8インチ)対応のSiCウェーハ枚葉式洗浄装置。ウェーハは5枚入カセットで、LD側に作業者がセットする。洗浄後のウェーハは、ULD側にセットされたクリーンなカセットに収納される。プロセス：LD(水中)→両面ブラシスクラブ→両面ブラシスクラブ→超音波シャワー洗浄→スピン乾燥→ULD(空中)。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
PHT株式会社
住所：
〒 115-0045
東京都北区赤羽1-41-12
Web：
https://www.pht.co.jp/
TEL：
03-6751-7153